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共通ツール│搬送・制御システム

ウエハ搬送ロボット Eシリーズ

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078-997-8827

性能・機能
（搬送制御範囲・連携機能）

適用ウエハサイズ：2〜12インチ
アームタイプ：シングル、ダブル
R/W軸速度：750mm/sec、1000mm/sec
T軸回転範囲：0〜340deg
Z軸ストローク：300mm、340mm、420mm、500mm
通信：RS232、Ethernet

安定性・耐久性
（停止トラブル低減・連続稼働性）

繰返し精度：±0.1mm
クリーン度：Class 100、オプションでClass 10、Class 1
DDモーター、リニアガイドウェイ、ボールねじ、サーボモーターなどの主要コンポーネントを自社で製造開発
ハードウェアとソフトウェアを統合したロボット構成

対応条件
（対応ライン構成・機器連携範囲）

対応用途：ウエハ搬送、ウエハ反転型搬送、サファイア基板搬送、パネル搬送、フレーム転送
対応産業：半導体産業、LED産業、FPD産業、小型パネル400×400mm以下
取付方式：上固定、下固定
エンドエフェクター：真空吸着型、把持型、反転型
フォーク：真空、把持、特注品に対応
マッピングセンサーはオプション対応

設置・接続条件
（設置寸法／電源／通信配線）

質量：45〜55kg、コントローラーなし
電圧：単相AC200〜240V
電流：5A
真空：φ6、-0.1MPa〜0.8MPa
末端流量：50L/min、末端配管φ4、入力圧力0.7MPa
中継線長さ：5m

交換・切替のしやすさ
（レイアウト変更・拡張性）

アーム長：135mm、165mm、185mmから選択可能
可搬質量：1kg、2kg、3kgから選択可能
Z軸ストローク：300mm、340mm、420mm、500mmから選択可能
フォーク、エンドエフェクター、マッピングセンサー、教示ペンダントを型式で選択可能
要望に応じたカスタマイズ対応

保守・清掃・安全
（保守体制・安全制御対応）

教示ペンダントはオプション対応
教示ペンダントにより、ロボットのピックアンドプレース動作をテスト可能
教示ペンダントは小型で持ち運びしやすく、矢印キーで操作可能
安全スイッチ付きで、誤操作によるロボットの誤作動防止に対応
マッピングセンサーにより、ウエハまたは基板の重なり、傾斜検出に対応

特徴

2〜12インチのウエハ搬送に対応するEシリーズロボット
シングルアーム、ダブルアームを選択可能
真空吸着型、把持型、反転型のエンドエフェクターに対応
ウエハ搬送、反転型搬送、サファイア基板搬送、パネル搬送、フレーム転送に対応
主要コンポーネントを自社で製造開発し、ハードウェアとソフトウェアを統合
マッピングセンサー、教示ペンダントなどのオプションにより、検出性と操作性を高められる構成

得意な分野・カテゴリー

物流ライン

パン・菓子

惣菜・調理食品

対象製品カテゴリー詳細

  • 生産機械接続
  • トラッキングシステム
  • 製造指示システム
  • 品質管理システム
  • 在庫管理システム
  • 自動化システム
  • 予知保全システム
  • クラウドシステム
担当者からのおすすめポイント!

高性能とリーズナブルを両立するロボットは、ウエハ搬送にとどまらない、PCBやガラス基板搬送用途のカスタム対応のほか、ロボット自体の搬送軸も仕様に合わせてご提案します。

お気軽にお問い合わせください。

製品説明・スペック紹介

高性能＆高剛性が特長！
2-12インチ対応のウエハ搬送ロボット
自社製DDモーターを採用し、高性能＆高剛性が特長。
2-12インチウエハに対応。ギアなしで経年劣化が少ない設計、また部品点数も少ないためメンテナンス工数も軽減されます。

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取り扱い企業

企業名
ハイウィン株式会社同企業の情報・その他製品を見る
所在地
〒651-2242 兵庫県神戸市西区井吹台東町7-4-4
電話
078-997-8827
FAX
078-997-2622
Webサイト
サービス提供エリア
北海道・東北
北海道、青森県、岩手県、宮城県、秋田県、山形県、福島県
関東
東京都、神奈川県、埼玉県、千葉県、茨城県、群馬県、栃木県
東海
愛知県、静岡県、岐阜県、三重県
北陸・甲信越
山梨県、新潟県、富山県、石川県、福井県、長野県
関西
大阪府、京都府、兵庫県、滋賀県、奈良県、和歌山県
中国・四国
鳥取県、島根県、岡山県、広島県、山口県、徳島県、香川県、愛媛県、高知県
九州・沖縄
福岡県、佐賀県、長崎県、熊本県、大分県、宮崎県、鹿児島県、沖縄県
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  • 共通ツール
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多軸同期制御コントローラー　HIMC

最大16軸を完全同期制御する多軸モーションコントローラー。 最大16軸を完全同期制御する多軸モーションコントローラー。モーション制御周期250μs～1000μsメモリ容量10MBMoE*1互換のモータードライバーとI/Oモジュールを全て同期させることができ、高度でカスタマイズ可能なスクリプト言語のHMPL（Cライクな独自言語）や、高レベルなホストプログラミング用にC/C++/C#APIライブラリーが用意されています。高度なモーション制御の要求に応えるべく、PTP動作、JOG動作および2D/3Dの直線および円弧補間動作において、単軸または多軸動作の軌跡を同期させます。また、内蔵されたダイナミック幾何学的補正アルゴリズムは、装置の位置決め精度向上に役立ちます。付属アプリケーション iA Studioは、様々なツール*2が付属しており、スムーズでインタラクティブな装置開発環境を提供します。 *1: MoE = mega-ulink over EtherCAT *2: Motion Manager、HMPL IDE、ビルトインシミュレーター、モーター動作モニター等

解決できる課題

  • 自動化
  • 省スペース
  • 棚卸し効率化
  • 物流オートメーション

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パン＆トレイ搬送カート　ガストロノームパン

【材質】 SUS304（18-10）ステンレス製 【価格（税別）】 価格は「サイズ展開・価格（PDF）」にて掲載しております ※価格表示がない製品につきましてはお問い合わせください

解決できる課題

  • 人手不足解決
  • コスト削減
  • 自動化
  • 生産効率改善
  • 在庫管理

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  • 搬送・制御システム

潤滑用器具

特長 専用ノズルを付替えることにより、LMガイドの小型形番から大型形番まで給脂が可能なグリースガンです。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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多軸シリーズ　MA

特長 多軸シリーズMA2-S コンパクトシリーズ コンパクト・高剛性で実績のあるコンパクトシリーズSKRを2軸に組み合わせた製品です。 組み合わせ姿勢として、【水平-壁掛け】【水平-水平】の二種類からお選びいただけます。 多軸シリーズMA2-U ユニバーサルシリーズ 高速・高可搬質量・ロングストロークに適したユニバーサルシリーズUS/USWを2軸に組み合わせた製品です。組み合わせ姿勢として、 【水平-壁掛け】【壁掛け-垂直（スライダ固定）】、【壁掛け-垂直（ベース固定）】の3種類からお選びいただけます。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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スライドレール

特長 スライドレールは鋼板をロールフォーミングで精密成形した低価格な有限タイプの直線案内です。 薄形コンパクトで、取付けが簡単なので様々な用途の直線案内に適しています。スライドレールは、複写機、計測機、通信機、医療機器、自動販売機、各種事務機器等のスライド部に幅広く利用できます。 スライドレールFBL形は、鋼板をロールフォーミングで精密成形したインナレールとアウタレールとの間に2条のボール列を配列しています。ボールは精密プレスによって成形されたリテーナにより、常に等間隔に配置されているため、ボール同士の相互摩擦がないスムーズなスライド機構です。 〇取付けが容易なユニットタイプ 取り付ける相手の取付面にそのまま取付けられます。インナレールを抜いても、ボールはリテーナで保持されているため脱落しません。 〇薄形コンパクト スライドレールFBL形の断面形状は薄形に設計されているため、取付時のサイドスペースは少なく、省スぺースが要求される箇所に適しています。 〇高耐食性 スライドレールFBL形は亜鉛めっき処理、E形、D形には白色アルマイト処理が施されているため耐食性に優れています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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総ボールタイプ KR

特長 LMガイドアクチュエータKR形は、高剛性なU字形断面形状のアウタレールと、両側面にLMガイド部、中央にボールねじ部を一体構造としたインナブロックにより、最小のスペースで、高剛性、高精度なアクチュエータ機能をもっています。 また、ハウジングA/Bがサポートユニット、インナブロックがテーブルの役目も兼ねているので設計および組立ての工数を大幅に削減することが可能となり、トータルコストの低減に寄与します。 〇4方向等荷重 インナブロックに作用する4方向(ラジアル方向・逆ラジアル方向・横方向)の荷重に対して同一定格荷重となるように、各ボール列を接触角45°で配置されているので、あらゆる姿勢での使用が可能です。 〇高剛性 U字形断面形状のアウタレールの採用により、モーメントやねじりに対しての剛性が向上しました。 〇高精度 直線案内部は、予圧を与えても軽く動く4列サーキュラーアーク溝のため、すきまがなく高剛性の案内が得られます。また、負荷の変動による摩擦抵抗の変化は最小に抑えられ、高精度送りを実現します。各種装置に精密級の位置決め性能を提供することで、高精度化・高品質化に大きく貢献しています。 〇省スペース 両側面にLMガイド部、中央にボールねじ部を一体構造としたインナブロックにより、最小のスペースで高剛性、高精度のアクチュエータ機能をもたせました。 〇シール KR形は、防塵のため標準でエンドシール・サイドシールが取付けられています。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 省スペース
  • 生産効率改善

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ボールリテーナ入り精密ボールねじ

特長 ボールリテーナ入りボールねじは、ボールリテーナの採用により、ボール同士の衝突や相互摩擦がなくなり、グリースの保持力も向上しました。このため、低騒音でトルク変動が小さく、長期メンテナンスフリーが実現しました。 また、理想的なボール循環構造、循環部の強度向上およびボールリテーナの採用により、高速性に優れています。 〇低騒音・好音質 ボールリテーナによりボール同士の衝突音がなくなりました。さらに、ボールは接線方向にすくい上げられるため、ボールの循環による衝突音が解消されました。 〇長期メンテナンスフリー ボール同士の相互摩擦がなく、またグリースポケットによりグリースが保持されるため、長期メンテナンスフリー(長期間給脂不要)を実現します。 〇滑らかな動作 ボールリテーナによりボール同士の相互摩擦がなくなり、トルクの変動が小さくなったため、滑らかな回転運動が得られます。

解決できる課題

  • 経費削減
  • 自動化
  • 生産効率改善

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ユニバーサルシリーズ　GL-N

特長 ■シリーズの特長　（ボールねじタイプ） 1.　LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 GL-Nはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2.　ロングストロークの高速搬送に最適 GL-Nはアルミベースを採用し、ボールねじのリードバリエーションを豊富に用意しております。ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2240mm/sの高速動作が可能です。 3.　軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4.　オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。 ■シリーズの特長　（ベルト駆動タイプ） 1.　LMガイドを採用し、用途に応じた選択が可能 GL-Nはボールリテーナ入りLMガイドを採用しており、重量物の搬送に適した構造となります。 2.　ロングストロークの高速搬送に最適 GL-Nはアルミベースを採用し、駆動方式にタイミングベルトを採用しており、ロングストロークの搬送に適したアクチュエータです。最⼤2500mm/sの高速動作が可能です。 3.　軽量・高剛性 アルミ押出し材を使用したベースの断面形状は中空構造になっているため、軽量かつ高剛性です。 4.　オプションの充実 カバー、ジャバラ、センサ、ケーブルチェーンをオプションとして用意しています。長期メンテナンスフリーを考慮し、LMガイドに潤滑装置QZを取付け可能です。

解決できる課題

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  • 自動化
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ボールリテーナ入りLMガイド

特長 ボールリテーナ入りLMガイドは、ボールがボールリテーナにより保持され循環する構造になっています。このため、ボール同士の相互摩擦がなくなり、ボールは均一に整列され運動します。さらに、ボール循環部とボールリテーナとの空間部（グリースポケット）に溜ったグリースがボールの回転によりボールとボールリテーナの接触面に巻き込まれ、ボール表面に油膜を常に形成させます。このため、油膜切れが起こりにくくなります。 ボールリテーナー効果 ・長寿命・長期メンテナンスフリー ボールリテーナによりボール同士の相互摩擦がなく、グリースの保持力も向上するため、長寿命・長期メンテナンスフリーが実現します。 ・低騒音・好音質 LMブロック内のボール循環部を樹脂化しているので、ボールとLMブロックとの金属音がなくなります。またボールリテーナ採用によりボール同士の衝突による金属音がなくなるので、高速時においても静音を維持することができます。 ・高速性 ボールリテーナにより、ボール同士の相互摩擦がなくなるので発熱が低く、優れた高速性を発揮します。 ・滑らかな動作 ボールリテーナによりボールが均一に整列され、ボールがLMブロックに進入する際に発生するボールの蛇行がなくなります。そのため、あらゆる取付姿勢でも滑らかで安定した動作が得られ、転がり抵抗の変動が小さくなり、高精度が得られます。 ・低発塵性 ボール同士の相互摩擦はもとより、貫通穴の樹脂化により金属接触をなくしました。また、グリースの保持力も高く飛散の少ないボールリテーナ入りLMガイドは優れた低発塵性を発揮します。

解決できる課題

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軸端末未加工品精密ボールねじ

特長 軸端末未加工品は、精密ボールねじのねじ軸を規格化し、定尺長さにして量産しているシリーズです。ねじ軸端末は追加工を容易に行うことができます。 またナット形式はシングルナットBNF形、オフセット予圧ナットBIF形、ミニチュアボールねじMDK形およびMBF形とありますので、使用目的に応じてお選びください。 〇防塵 ナットには、下記の形番にラビリンスシールが取付けてあります。 BNF/BIF全形番 MDK0802/1002/1202/1402/1404/1405形 ボールねじにごみや異物の流入が考えられる場合は必ず防塵装置(ジャバラ等)を用いてねじ軸を完全にカバーする必要があります。 〇潤滑 ナットには、納入時リチウム石けん基グリースが封入されています。 (MDK形、MBF形は防錆油のみ塗布してあります。) 〇ねじ軸端末の追加工 ねじ軸は、有効ねじ部だけ高周波焼入れ(BNF/BIF全形番/MDK1405形)、あるいは浸炭焼入れ(MBF全形番/MDK0401~1404形)で表面硬化させてありますので、ねじ軸端末の追加工を旋削、フライス加工で容易に行うことができます。 また、ねじ軸の両端にはセンタ穴が設けてありますので円筒研削も可能です。 有効ねじ部の表面硬さ ：58~64 HRC ねじ軸端部硬さ BNF/BIF全形番/MDK1405形 ：22~27 HRC MBF全形番/MDK0401~1404形 ：35 HRC以下 なお、THKではボールねじの見積りや製作を迅速に行えるようにねじ軸の軸端形状を標準化しています。 軸端形状については、標準サポートユニットをそのまま使用できるH、K、J形がありますのでボールねじ周辺機器 サポートユニットをご参照ください。

解決できる課題

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  • 自動化
  • 生産効率改善

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